Telu hexafluoride được điều chế nhiều nhất bằng cách đưa khí flo vào telu ở nhiệt độ 150 ℃. Dưới nhiệt độ này thì một hỗn hợp các hợp chất fluoride thấp hình thành, bao gồm telu tetrafluoride và đitelu decafluoride. Ngoài ra, hợp chất này cũng có thể được điều chế bằng cách đưa khí flo vào TeO3 hoặc gián tiếp bằng phản ứng TeO2 với SeF4 để tạo ra TeF4 và sau đó làm nóng TeF4 ở nhiệt độ 200 ℃ để tạo ra hợp chất TeF6 và Te.